真空灭弧室是将分、合用触头密封在真空中的器件，主要由绝缘外壳（玻璃或陶瓷）、波纹管（蒙乃尔合金或不锈钢)、动静导电杆（无氧铜）、屏蔽筒（无氧铜）、触头等零件构成。真空灭弧室外壳呈圆筒状，做绝缘及密封用。波纹管是用金属薄壁管制成的波纹状弹性元件，它的一端同管壳密封，另一端同动导电杆密封。当动导电杆在外加机械力的作用下上下运动时，波纹管即被拉伸或压缩，同时连接在动导电杆上的触头也上下运动完成合、分功能。动静导电杆是用无氧铜制成的电流导体，内接触头，外接整机导电回路。屏蔽筒是圆筒状的金属件，主要用于避免因绝缘外壳被触头分断时产生的金属蒸汽污染而导致绝缘性能降低。

真空灭弧室按照用途有接触器和断路器之分，用途不同，触头材料也不同，接触器的分断能力没有那么高，而电寿命要求高，要求触头抗磨损强。机械寿命长，对波纹管要求高。断路器要求分断能力强，但分断次数没有那么多，触头一般用铜基合金制成，不同的功能、分断能力要求也不一样，触头材料的成分也有区别。