专利详情
一种柔性纳米线丛结构及其制备方法
CN106947992B
发明专利
金属材料
专利简介
本发明涉及柔性电子材料领域,更具体的,涉及一种柔性纳米线丛结构及其制备方法,其特征在于:包括柔性基底,所述柔性基底上固定有阳极氧化铝模板;所属阳极氧化铝模板上溅射有金属纳米线丛,所述纳米线丛由很多纳米线堆叠而成,所述纳米线直径为20‑40nm之间,呈丛簇状分布;所述基底为聚二甲基硅氧烷。本发明技术方案的有益效果是:(1)制备简单、成本低、制备环境友好、样品面积大等优势;(2)可以用以制备可穿戴的光学湿度传感器件。
相关专利标签
阳极氧化铝模板 柔性电子 柔性基底 金属纳米线 nm
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