专利详情
一种球面或旋转对称非球面光学元件自动定心方法
CN111288933B
发明专利
检测仪器
专利简介
本发明公开了一种球面或旋转对称非球面光学元件自动定心方法,采用自动定心装置,所述的自动定心装置包括样品台、三维位移台、三台激光位移传感器、数据采集单元、数据分析处理单元,以及用于接收数据分析处理单元的反馈并控制三维位移台运动至光学元件轴心线位置的控制单元;自动定心时,三台激光位移传感器同时提供被测光学元件上三个采样点的相对距离,当三个采样点的相对距离为0或者小于允许误差阈值时,即可认为三个采样点构成的截面为垂直于光轴的圆形截面,圆心即光学元件轴心线位置。本发明简单易行,无需对球面或旋转对称非球面光学元件进行旋转,降低机械设计与装配难度,实现光学元件的非接触式、快速、自动定心。
相关专利标签
三维位移 非球面光学元件 样品台 自动定心 激光位移传感器
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