专利详情
一种聚碳酸酯作为电子束光刻胶材料的应用
CN107991842B
发明专利
专用化学
专利简介
本发明涉及一种聚碳酸酯作为电子束光刻胶材料的应用,所述聚碳酸酯是由二氧化碳和至少一种环氧烷烃通过交替共聚形成。本发明开创性地将二氧化碳基聚碳酸酯应用于半导体加工领域,该聚碳酸酯具有高灵敏度、较高的分辨率和对比度的特点。
相关专利标签
烷烃 环氧 具有高 聚碳酸酯 电子束光刻
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